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四氟化碳

CAS 编号:75-73-0

UN 编号:1982

EINECS 编号:200-896-5

分子量:88

外观:无色、无味

熔点:-184 ℃

沸点:-128.1 ℃

密度:3.72 kg/m³

DOT 类:2.2

标签:不易燃气体

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包装规格


钢瓶规格

含量

钢瓶容量

阀门

重量

47L

CGA580

30 kg




电子级四氟化碳99.999%


规格

99.999%

氧气+氩气

≤ 1 ppm

氮气

≤ 2 ppm

氢气

≤ 0.3 ppm

一氧化碳

≤ 0.3 ppm

二氧化碳

≤ 0.3 ppm

六氟化硫

≤ 0.3 ppm

四氢大麻酚

≤ 0.3 ppm

三氟甲烷

≤ 0.3 ppm

OFC

≤ 1 ppm

水分

≤ 1 ppm

氟化氢

≤ 0.1 ppm




气体介绍


四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

优势
注意事项
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